서울대학교 응용물리연구소
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[클린룸] ALD HfO2 사용법 변경 안내
2024-06-03
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조회수 289
HfO2 사용자는 Process Recipe를 다음과 같이 변경해주시기 바랍니다.
기존
Layer 1 : Pre
변경
Layer 1:
Pre_HfO2
* HfO2 standard recipe를 참조해 주시기 바랍니다.
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