22동 220호의 리모델링이 완료되어
2023. 11. 21. 9:00부터 사용가능합니다.

사용시 다음을 꼭 숙지해 주시기 바랍니다.

1. 실험실 출입 로그북 작성
- 118호와 마찬가지로 실험실 출입시에는 비치된 로그북을 작성해주시기 바랍니다.
* 출입로그북, 장비 로그북 각각 작성

2. ALD 정상작동 - 사용가능

3. 장비 사용법 변경
E-beam Evaporator의 chiller와 XeF2 etcher의 Scrubber를 상시 가동하므로 
유저가 끄고 켤 필요가 없습니다.
다른 변경 사항은 비치된 매뉴얼을 확인해 주시기 바랍니다.

4. 에어 블로워(a.k.a. 뽁뽁이)는 비치하지 않습니다.
실험대 옆에 비치된 N2를 사용해 주시기 바랍니다.
* 사용시 실린더의 Main valve만 살짝! 열어 사용

5. 사용한 물건은 꼭 제자리에 놓아주시고, 쓰레기는 쓰레기통에,
개인 물건은 실험실에 두지 마시기 바랍니다.

6. 12월 중 Thermal Evaporator, FIB 설치 및 1층 AFM을 220호 현미경실로 이전 예정

7. 안전 물품 및 대피로를 숙지해 주시기 바랍니다.