서울대학교 응용물리연구소

공지사항

[클린룸] ALD HfO2 사용법 변경 안내

2024-06-03l 조회수 69

HfO2 사용자는 Process Recipe를 다음과 같이 변경해주시기 바랍니다.

기존
Layer 1 : Pre

변경
Layer 1: Pre_HfO2

* HfO2 standard recipe를 참조해 주시기 바랍니다.