서울대학교 응용물리연구소

공지사항

[클린룸] XeF2 Etcher 이상 및 사용법 변경

2024-06-07l 조회수 164


현재 XeF2 Etcher의 RC gauge (DG2) 이상으로
반응시 RC의 압력값을 알수 없습니다.

실험은 Tank 압력을 기반하여 진행해 주시기 바라며,
반응이 일어나지 않은 경우 관리자에게 알려주시기 바랍니다.

두번째로 기존 예약시 Manual Purge 10분을
포함하여 예약을 진행하도록했으나
현재 Manual Purge 없이 정상적으로 장비 Shut down이 가능하므로
예약은 Purge 10분을 제외한 순수 사용시간으로 해주시고 
Manual Purge 과정은 생략하시기 바랍니다.

다만, 만약 Shut Down이 정상적으로 이루어 지지 않을 경우
(O-ring이 잘못되었을 때 제외) 
Manual Purge를 진행해 주시기바랍니다.