서울대학교 응용물리연구소
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[클린룸] ALD Cleaning 안내(8/22~한달간)
2024-08-14
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조회수 274
ALD 특성상 2년~3년에 한번 전체 Cleaning 작업에 들어갑니다.
Cleaning 기간은
24.08.22 ~ 약 한달 간이며,
해당기간에는 장비를 사용하실 수 없습니다.
양해부탁드립니다.
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