서울대학교 응용물리연구소

공지사항

[클린룸] ALD Cleaning 안내(8/22~한달간)

2024-08-14l 조회수 274

ALD 특성상 2년~3년에 한번 전체 Cleaning 작업에 들어갑니다.

Cleaning 기간은
24.08.22 ~ 약 한달 간이며,
해당기간에는 장비를 사용하실 수 없습니다. 

양해부탁드립니다.