서울대학교 응용물리연구소

공지사항

[클린룸] Maskless Aligner sample chuck 사용 안내(필독)

2022-06-28l 조회수 186

Maskless Aligner 사용중 Sample Fixation 과정에서 
Chuck의 위치고정 Pin과 Screw를 잃어버리는 일이 빈번히 발생하고 있습니다.

 Pin의 경우 구입이 가능하지만 
Screw는 특수 사이즈로 구입이 불가능합니다.

이에, 사용 방법을 변경합니다.

현재 대부분의 사용자가 조각 sample을 사용하므로 Screw를 사용해야 하는 경우가 
사용하지 않는 경우보다 빈번합니다. 

따라서 4인치 웨이퍼를 사용하는 경우에만 아래쪽 Screw를 제거하시고
실험이 끝난 경우 다시 Screw를 장착해 주시기 바랍니다. 

조각 Sample을 사용하는 경우에는 
실험이 끝난 후에도 Screw부분을 따로 만지실 필요가 없습니다.

정리하면 4인치 웨이퍼를 사용하는 경우 외에는 절대 Screw를 제거하지 마십시오.

모든 조각샘플은 Screw 하나만 필요합니다.

Screw를 더 사용해야하는 경우 관리자에게 Sample이 Loading된 사진과
Screw가 더 필요한 이유를 메일로 알리신 후 사용하시기 바랍니다.

또한, 분실시 장비 사용 부주의로 패널티 적용 예정입니다.
사용전 로그북 날짜 왼쪽 빈공간에 현재 부품 갯수를 '2/5' (Screw갯수/Pin갯수) 와 같은 형식으로 적어주시기 바랍니다.
(Screw 갯수 = chuck 고정 1 + 케이스 내 1 = 2) 

적힌 갯수가 변하기 전 사용자가 잃어버린 것으로 간주하고 패널티를 적용할 예정이니
사용 전 꼭 부품의 갯수를 확인하시어 불이익을 당하지 않으시기 바랍니다.


감사합니다.
관리자