[클린룸] XeF2관련 알림(예약전 필독)
XeF2의 Scrubber에서 Water leak error가 발생했지만 문제부위를 찾지 못해 당분간 다음과 같이 XeF2 사용 방법을 변경합니다.
1. XeF2의 야간사용(9 pm ~ 6 am) 금지
1. XeF2의 야간사용(9 pm ~ 6 am) 금지
- 관리자의 대응이 불가능한 시간의 장비 사용을 금지합니다.
XeF2사용시 Scrubber의 cooling종료가 9시 이전에 끝날 수 있도록 장비예약은 8시까지만 해주시기 바랍니다.
2. 현재 예약시 안내하고 있는 '장비 사용완료 후 예약창 확인하여 3일이내 장비 예약이 없을 때에만 Scrubber cooling'을 1일로 변경합니다.
- Scrubber는 당일 마지막 사용자가 꺼주시기 바랍니다.
3. 문제 발생시 메뉴얼을 첨부해드렸습니다.
동일 문제 발생시 사용해 주시기 바랍니다.
4. 그외 error에 대해서는 지금까지와 동일하게
'Buzzer stop 터치 -> message창 사진 찍은 후 첨부해서 관리자에게 메일'
해주시기 바랍니다.
첨부파일 (1개)
- XeF2 Scrubber-Water leack error 발생시 행동 요령.pdf (612 KB, download:47)