서울대학교 응용물리연구소

공지사항

[클린룸] XeF2관련 알림(예약전 필독)

2023-05-12l 조회수 149
XeF2의 Scrubber에서 Water leak error가 발생했지만 문제부위를 찾지 못해 당분간 다음과 같이 XeF2 사용 방법을 변경합니다. 

1. XeF2의 야간사용(9 pm ~ 6 am) 금지
-   관리자의 대응이 불가능한 시간의 장비 사용을 금지합니다. 
    XeF2사용시 Scrubber의 cooling종료가 9시 이전에 끝날 수 있도록 장비예약은 8시까지만 해주시기 바랍니다.
 
2.  현재 예약시 안내하고 있는 '장비 사용완료 후 예약창 확인하여 3일이내 장비 예약이 없을 때에만 Scrubber cooling'을 1일로 변경합니다.
- Scrubber는 당일 마지막 사용자가 꺼주시기 바랍니다.
 
3. 문제 발생시 메뉴얼을 첨부해드렸습니다.
    동일 문제 발생시 사용해 주시기 바랍니다.
 
4. 그외 error에 대해서는 지금까지와 동일하게 
  'Buzzer stop 터치 ->  message창 사진 찍은 후 첨부해서 관리자에게 메일' 
  해주시기 바랍니다.
 
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