현재  RIE가 정상작동 중이나 고장 원인파악이 안된 상태입니다.

사용은 가능하지만 vacuum / Pump관련 error가 뜰경우
화면 사진찍어 관리자에게 메일 보내주시기 바랍니다.





FE-SEM Door가 교체 되었습니다.

지속적으로 발생하는 Door 힌지 고장 원인을 알수 없어 
Door를 통째로 교체한 상태입니다.

사용방법은 그 전과 같으며,
 Door는 한손으로 부드럽게 열리는 것이 정상입니다.
만약 조금이라도 뻑뻑해 졌다고 느끼실경우 지체없이 관리자에게 알려주시기 바랍니다.