클린룸 측정(measurement) 장비
소자 저항측정기(Probe Station) Probe Station
| 모델명 | MST 5500B |
|---|---|
| 제조사(제조국) | MS TECH (Kor) |
| 구입연도(제작연도) | 2013-04-02 |
| 용도 | 소자 저항측정 |
| 사용료 | 유저등록비 포함 |
| 장소 | 22-220 |
| 비고 | probe Tip 개별 구비 |
성능▶ Probe Station Main
Chuck : 6 Inch Low Noise Chuck, On Ceramic Pad Vacuum Chuck On/off Switch Chuck Ground, Back Gate X/y State : Travel 100x 100mm, Resolution : 5um Microscope : Travel 50 X 50mm, Fine Manual Fine Knob ▶ Positioner Micro positioner body unit_PB50 Manipulator LM lead guide, Fine Knob X/y Travel : 6mm Resolution : 3um ▶ Positioner Holder Holder : Triaxial C_15 or Coaxial C_14 PH_C15 : TRX Cable 2M, TRX plug PH_C14 : BNC cable 1.5M, BNC plug 장비 사용교육 불가 |
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