FE-SEM Chamber Door의 프레임 교체가 완료되었습니다.

이에따라 사용시 다음 주의 사항을 꼭 지켜 주시기 바랍니다.

1. vent 시 과도하게 힘을 주지 않아도 door가 열립니다.
door는 천천히 열어주세요.


2. chamber가 열린 상태로 오래 유지되면 프레임에 무리를 줘 같은 문제를 발생시킵니다.
샘플링을 마치신 후에 door를 열어,
door가 열려있는 시간을 최대한 줄여주세요.


3. pump는 꼭 다음과 같이 진행해 주세요.

① pump를 누르신 후 door의 빨간점을 엄지손가락으로 누르고 
나머지 네 손가락으로는 chamber를 잡아 주세요.
너무 힘주어 밀지 않도록 주의해 주셔야 합니다.
door를 너무 밀면 제진대의 air line이 손상됩니다.



② Vacuum 창에서 Waiting for RTP가 Pumping으로 바뀐 후! 손을 떼주세요.




현재 pump문제로 pumping 까지 시간이 오래 걸립니다.
pumping으로 바뀔 때까지 인내심을 가지고 문을 잡아주세요.
(pump 수리 예정입니다.)
양해부탁드립니다.