클린룸
소자제작을 위하여 특별히 꾸며진 실험실로써 365일 24시간 항온·항습을 유지하고 있으며, 에어샤워장치와 공기정화장치를 통해 외부로부터의 먼지를 차단하여 항상 청정한 환경을 유지하고 있습니다.
*클린룸의 장비는 학기 별로 등록된 유저의 직접 사용만 가능하며, 분석 의뢰는 받지 않습니다.
**24년 1학기 유저 등록은 마감되었으며, 추가 등록은 받지 않습니다. (공지 확인 부탁드립니다.)
실험실 관리자
강슬지 (selji@snu.ac.kr, 02-882-8515)
*클린룸의 장비는 학기 별로 등록된 유저의 직접 사용만 가능하며, 분석 의뢰는 받지 않습니다.
**24년 1학기 유저 등록은 마감되었으며, 추가 등록은 받지 않습니다. (공지 확인 부탁드립니다.)
실험실 관리자
강슬지 (selji@snu.ac.kr, 02-882-8515)
-
-
기타 장비 실체현미경 Stereo Microscope
-
기타 장비 와이어 본더 Wire bonder
-
-
-
리소(Lithography, milling) 장비 마스크리스 노광장치 Maskless Photo Lithography System
-
리소(Lithography, milling) 장비 집속 이온 빔(FIB) Focused Ion Beam(FIB)
-
리소(Lithography, milling) 장비 필드 방사 주사형 전자 현미경 FE-SEM(Field Emission-Scanning Electron Microscope
-
식각(etching) 장비 반응성 이온 식각기 RIE(reactive ion etcher)
-
식각(etching) 장비 이불화제논 식각기 XeF2 etcher
-
증착(Deposition) 장비 원자 적층기 ALD(Atomic Layer Deposition)
-
증착(Deposition) 장비 진공 박막 증착기 E-beam Evaporator
-
측정(measurement) 장비 반도체 검사기-장기 대여제 운영 Keithly US
-
측정(measurement) 장비 원자 힘 전자 현미경(AFM) AFM (Atomic Force Microscope)