클린룸
소자제작을 위하여 특별히 꾸며진 실험실로써 365일 24시간 항온·항습을 유지하고 있으며, 에어샤워장치와 공기정화장치를 통해 외부로부터의 먼지를 차단하여 항상 청정한 환경을 유지하고 있습니다.
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기타 장비 실체현미경 Stereo Microscope
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리소(Lithography, milling) 장비 마스크리스 노광장치(Maskless Aligner) Maskless Photo Lithography System
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리소(Lithography, milling) 장비 포토레지스트 노광기(Mask Aligner) Mask Aligner
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리소(Lithography, milling) 장비 필드 방사 주사형 전자 현미경(FE-SEM) FE-SEM(Field Emission-Scanning Electron Microscope
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식각(etching) 장비 반응성 이온 식각기(RIE) RIE(reactive ion etcher)
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식각(etching) 장비 이불화제논 식각기(XeF2 Etcher)-점검중 XeF2 etcher
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증착(Deposition) 장비 원자 적층기(ALD) ALD(Atomic Layer Deposition)
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증착(Deposition) 장비 진공 박막 증착기(E-beam Evaporator) E-beam Evaporator
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측정(measurement) 장비 반도체 검사기 Keithly US
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측정(measurement) 장비 소자 저항측정기(Probe Station) Probe Station
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측정(measurement) 장비 원자 힘 전자 현미경(AFM) AFM (Atomic Force Microscope)