Spin coater vacuum chuck 교체 및 추가되었습니다.

장비 사용시에는 아래 내용을 꼭 지켜주시기 바랍니다.

1. Sample 사이즈에 맞는 Chuck을 사용
  *chuck은 위로 당기면 빠집니다.

  ① 1cm 이하 sample
  ② 1~2cm sample
  ③ 2~5cm sample




2. Carbon tape은 O-ring 손상의 원인이되므로 사용불가 

3. 5cm 이상의 샘플은 별도의 chuck을 구입하여 사용

! 주의사항 !
vacuum Hole에 PR등의 시약이 들어가 고장의 원인이 되고 있습니다.
sample에 맞는 Chuck을 사용하시고 시약이 들어가지 않도록 주의해 주시기 바랍니다.