ALD 특성상 2년~3년에 한번 전체 Cleaning 작업에 들어갑니다.

Cleaning 기간은
24.08.22 ~ 약 한달 간이며,
해당기간에는 장비를 사용하실 수 없습니다. 

양해부탁드립니다.

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Cleaning 및 source교체 완료 되어 사용 가능합니다.

HfO2를 사용하시는 경우 Pre_HfO2 대신 기존의 Pre를 사용하여 공정해 주시기 바랍니다.