[클린룸] 118호 클린룸 환경개선공사 완료 안내 및 사용 변경사항 알림
1. 118호 Open 일정
2024년 12월 19일 9:00시
(장비 예약은 18일부터 가능하나 장비 사용은 19일 9:00부터 가능함으로 이점 유의해 주시기 바랍니다.)
2. 클린룸 환경개선공사 진행 사항
- 118호 주 출입문 확장
- 1,000C Yellow room & 10,000C 통폐합 및 장비 반입구 설치 -> 항온항습기 추가설치로 공사 후 현재 Yello Room 청정도 Class 100 이하
- 실험 준비실 확장
- FE-SEM 및 Maskless Aliger 이전 설치
- 작업대 추가 및 교체
- 필터형 시약 냉장고 설치
3. 클린룸 사용 변경사항
① RIE 사용전 중비 사항 변경
클린룸 공압 & N2 유틸리티가 재설치 됨에 따라 RIE 사용전 가스밸브 사용 방법이 변경되었습니다.
첨부파일 및 가스 캐비넷 옆에 부착된 사용 방법을 확인해 주시기 바랍니다.
② AZ 5214E, PR 교체 안내
현재 클린룸 내부의 모든 시약이 폐기 되었습니다.
AZ 5214E의 경우 아직 새 시약이 입고 되지 않은 상태며, 새 시약은 12월 넷째주 입고 예정입니다.
(MIF 300 입고 완료)
③ 새 시약 냉장고 사용 안내
앞으로 클린룸 내부에 임으로 시약을 보관하실 수 없습니다.
당일 반입/반출 시약을 제외, 클린룸 내부에 시약 보관을 원하실 경우 모든 시약은 관리자의 확인을 거쳐야하며
시약을 소분할 병은 클린룸에서 구입 하신 병만 사용하실 수 있습니다.
자세한 내용은 공지 [클린룸] 새 냉장 시약장 사용 안내(링크)를 참조해 주시기 바랍니다.
④ 클린룸 내부 테이블이 모두 변경되었습니다.
Sampling은 중앙 작업대를 사용하시기 바라며, 장비 테이블에서의 Sampling은 불가합니다.
작업대에 테이프를 붙이거나 하는 행위는 삼가주시고, 깨끗하게 사용 후 사용한 물건은 제자리에 놓아 두시기 바랍니다.
첨부파일 (1개)
- RIE 사용전 준비사항(변경)_24.12.18.pdf (550 KB, download:20)