200 C° 초과한 고온으로 Chamber(substrate) Temp. 설정시
vacuum이 잡히지 않는 문제가 발생하여

ALD Chamber (substrate) Temp.를 기존 150 C° ~ 270 C°에서
 150 C° ~ 200 C°로 변경합니다.

사용시 유념해 주시기 바랍니다.