현재 클린룸내 E-Beam Evaporator를 확인 중에 있습니다.

문제 증상: E-Beam HV On 후 Power Suopply의 V가 7.4KV까지 올라가지 못하고 HV off 됨
 
Evaporator 사용시 다음을 주의해 주시기 바랍니다.

1. E-Beam Power Supply를 켜고 최소 3 분간 기다린 후 HV On

2. 장비 사용 종료 후 Shut down 하지 않고, Chamber Pumping 만 하고 간다.
- 다음 사람이 장비 사용이 종료된 것을 확인 할 수 있도록 로그북을 꼭! 작성할 것

3. 문제 증상이 발생할 경우 V가 0 KV가 될 때까지 기다린 후 Supply를 끄고 관리자에게 연락한다.