클린룸 증착(Deposition) 장비
진공 박막 증착기 E-beam Evaporator
| 모델명 | GLAD E-BEAM EVAPORATOR SYSTEM, KVE-E4006L |
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| 제조사(제조국) | Korea vacuum tech (Kor) |
| 구입연도(제작연도) | 2014-04-15 |
| 용도 | Metal and oxide deposition |
| 사용료 | 유저등록비 포함 |
| 장소 | 22-220 |
| 비고 | crucible, metal 개별 구비 |
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● Deposition source (metal): Au, Ti, Ni, Pt, Cr, Al ● Deposition source (oxide): SiO2 - O2가스 사용 불가 *이 외의 source는 관리자에게 확인 후 사용 ● Wafer size: 4“ 이내 ● Substrate rotation and tilt 가능 ● Process Chamber : Stainless steel ● Vacuum Pumping Station : TMP ● Loadlock Chamber : Top door, Stainless steel ● Substrate Unit : Rotation / Heating / Cooling ● Sample Size : 4inch 이내 ● Vacuum Gauge Controller : ATM ~ 1.0E-10Torr ● Power Supply Unit : 6kW, 8kW, 10kW ● Crucible Size : 4cc, 7cc, 15cc, 25cc ● Pocket Number : 6 ● Film Thickness Uniformity : < ±5% ● Ultimate Pressure : < 5.0E-7Torr ● System Control : PLC based PC auto 장비 재교육 필요! |
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