물성분석실 1. Device Fabrication
RF & DC Magnetron Sputter RF & DC Magnetron Sputter
| 모델명 | KVS-5000L |
|---|---|
| 제조사(제조국) | 코리아바큠테크(주) |
| 구입연도(제작연도) | 2013-05-03 |
| 용도 | Metal and Oxide Deposition |
| 사용료 | 유저등록비 및 장비사용료 참고 |
| 장소 | 19-409 |
| 비고 | 소스 제공, Au 사용료 부과 |
성능
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