서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

물성분석실 1. Device Fabrication

Plasma Asher Plasma Asher

모델명 AP-300 Plasma System
제조사(제조국) Nordson Coporation
구입연도(제작연도) 2014-05-28
용도 Material Etching
사용료 유저등록비 및 장비사용료 참고
장소 19-420

성능

  • Plasma 본체 (Main body) 1set, Accessories 1set, Dry pump 1, RF generator
  • Equipment Size : 569W × 869D × 704H mm
  • Touch Screen & GUI
  • 13.56 MHz Generator
  • Ethcing source : O2, Ar
  • Mass Flow Controller : 4
Plasma Asher 사진

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