물성분석실 5. Optical Parameter Measurement
Ellipsometer (IR) Ellipsometer (IR)
| 모델명 | IR-VASE MARKⅡ |
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| 제조사(제조국) | J.a.woollam |
| 구입연도(제작연도) | 2016-11-04 |
| 용도 | 시료의 광학적 특성 측정 |
| 사용료 | 유저등록비 및 장비사용료 참고 |
| 장소 | 19-402 |
성능
- 입사각을 32°에서 90°까지 미세하게 자동조절 가능 - 데이터 분석을 위한 소프트웨어 - 회전위상지연자(rotating compensator)형 엘립소미터 - 333~5900 cm-1 의 파장범위
- 측정 데이터 유형 : Generallized Ellipsometry, Depolarization, Mueller matrix 등 - 파장 해상도 : 1 cm-1 - 입사각 : 32~90° - 데이터 재현성 : 0.06° 이하, 0.013° 이하 - 데이터 정확성 : 0.8° 이하, 0.14° 이하 - FTIR spectrometer의 광소스 : silicon carbide glow bar - Cryostat 사용 온도 범위 : 4.2~800K (thermocouple and silicon diode sensors) |
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