보유장비 및 예약

• 장비 구성

- 메인 챔버 1set, 로드락 챔버 1set

- 펌핑 시스템 1set

- 가스공급 시스템 1set

- 시스템 제어 1set

• 기능

- 기판 사이즈 : 4inch

- 온도 범위 : 700 ~ 1000℃

- 온도 균일도 : ±6% 이하

- 진공도 : 메인 챔버 5E-6 Torr 이하, 로드락 챔버 5E-2Torr 이하

• 메인 챔버

- 메인 챔버 사이즈 : 450(OD)×400(H)

- 주요 공정 가스: Ar, H2, CH4

- 공정 온도 : 30 ~ 1000℃,

- 공정 압력 : 수 mTorr ~ 수백 mTorr

• 로드락 챔버

- 기판의 교환 작업 진행.

- 최대 진공도 : 5E-2 Torr

- 로드락 챔버의 재질 : SUS304

• 펌핑 시스템

- 고진공펌프 (Turbo Molecular Pump, 1,000liter/sec)와 로터리펌프(1,000liter/min)

- 로드락 챔버 : 로타리 펌프(400liter/min) 장착

• 가스공급 시스템

- 주요 공정 가스 : 기본적으로 Ar(300sccm), H2(300sccm), CH4(5sccm)를 사용

• 시스템 제어

- PLC를 기반으로 한 PC 제어 시스템 : 모든 공정 변수가 PC상에서 모니터링 됨

• Performance

- 최종 진공도 : 8E-7 Torr 이하

- 공정압력 : 수mTorr ~ 수백 mTorr