서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

클린룸 증착(Deposition) 장비

열 증착 시스템 Thermal Evaporator

모델명 15NNS004
제조사(제조국) NNS Vacuum
구입연도(제작연도)
용도 Metal Deposition
사용료 10,000/h (Boat 제공 / Source 개별 구매)
장소 22-220

성능


  • Depositon Source: Ni, Ti, Cr, Au (이외 사용 불가)
  • Wafer Size: 4" 이내
  • Rotation 사용 가능
  • Pocket Number: 4
  • 진공 박막 증착기(E-beam Evaporator)와 동일 사이즈 Pellet source 사용
열 증착 시스템 사진

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