시료준비실 고온 열처리 장비
열 증착 시스템 Thermal Evaporator
| 모델명 | 15NNS004 |
|---|---|
| 제조사(제조국) | NNS Vacuum |
| 구입연도(제작연도) | 2014 |
| 용도 | 본 장비는 고진공 환경에서 금속 및 다양한 증착 재료를 열 증발(Thermal Evaporation) 방식으로 기판 표면에 박막을 증착하기 위한 장비입니다. 반도체, 디스플레이, 광학소자 및 연구개발용 박막 형성 공정에 사용되며, 금속 전극 형성 및 기능성 박막 증착 공정을 수행할 수 있습니다. 또한 균일한 박막 형성과 실시간 두께 모니터링을 통해 공정 재현성을 확보할 수 있습니다. |
| 사용료 | 10,000원/시간 |
| 장소 | 22-225 |
| 비고 | 클린룸 관리자에게 문의 |
성능 |
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