클린룸 리소(Lithography, milling) 장비
집속 이온 빔 주사 전자 현미경(FIB)-고장 FIB(Focused Ion Beam)
| 모델명 | THE QUANTA(200 3D) |
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| 제조사(제조국) | FEI (US) |
| 구입연도(제작연도) | 2005-07-25 |
| 용도 | Ion beam을 이용한 milling, 이미지 출력 (SEM 내장) 24년 1학기부터 새 장비 가동 예정 |
| 사용료 | 60,000원/h |
| 장소 | 22-118 |
성능● FIB 기본적으로 SEM과 FIB의 dual-beam system으로 구성
● 기본 SEM을 통해 고해상도 이미지를 생성가능하며, Ga Ion beam으로 마이크론 사이즈 스케일 내에서 선택적으로 샘플의 표면을 milling하고 deposition 가능 ● 다양한 optional mode가 존재하며 Low vaccum에서 bio-material을 측정할 수 있는 모드 ● Electron source Thermionic - tungsten filament ● Ion source Ga+ ions ● Accelerating voltage 500 V - 30 kV ● Resolution 50 nm at 30 kV (SE) ● Imaging detectors Everhart-Thornley (SE/BSE), Large Field, CCD Camera ● Imaging modes Electron and Ion beams, high and low vacuum ● Attachments Gas Injection System (GIS) for tungsten and platinum deposition and in-situ Omiprobe micromanipulator * 수리 일정 미정 |
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