클린룸 측정(measurement) 장비
반도체 검사기-장기 대여제 운영 Keithly US
| 모델명 | 4200-SCS |
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| 제조사(제조국) | A Tektronix Company (UK) |
| 구입연도(제작연도) | 2014-09-07 |
| 용도 | probe station 또는 AFM에 연결하여 사용하는 계측장비 |
| 사용료 | 100,000원/M |
| 장소 | 대여 |
성능● DC CURRENT-VOLTAGE : 10 aA - 1A
(I-V) RANGE : 0.2 µV - 210 V ● CAPACITANCE-VOLTAGE : 1 kHz - 10 MHz (C-V) RANGE : ± 30V DC bias ● PULSED I-V : ±40 V (80 V p-p), ±800 mA RANGE : 200 MSa/sec, 5 ns sampling rate 1. 클린룸 내부 사용 및 장비 사용 교육 불가 2. 1개월 단위로 대여(최대 3개월) 3. 대여 중 수리 및 관리의 책임을 짐 |
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