보유장비 및 예약

● Wafer size(Max.) : piece to 4" diameter, 6"
● Bowl size : 235 m/m Bowl
● Bowl material : SUS (option: P.P, Tefelon, etc)
● Special DC Motor : Up & Down free
● Step : 100 step
● Memory storage : 100 program
● Rotation Speed : 0 to 50 ~ 8,000 rpm
● Hold Time : 1~999sec
● Accuracy : ± 1 R.P.M
● acceleration, deceleration free : 3,000 R.P.M/sec
● Graphic Fuction : Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현)
● Power Input : AC 220V, 50/60Hz
● Vacuum Input : -450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD)
● Display : LCD (Back Light)
● System Controller : MCU (Digital Microprocess)
● Dimension (W X D X H) : 320 X 420 X 220 mm
● 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 올리고 내리면서 사용가능 (Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 or 6,000/ Sec)
● 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 얻기 가능 (실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있음)
● Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용할 수 있음
● 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.
● 당사의 스핀코터는 내부 구조가 spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성되어 있어서 마치 PC를 업그레이드 하듯이 간단하게 수리가 가능하므로(2~3일 이내) 보다 안전하고 편리하게 사용 하실수 있습니다.
● 스핀코터 전용의 강력한 모터와 프로그램을 연결, high R.P.M 구현하며 실시간 회전의 동작을 그래픽으으로 확인하므로써 코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있음
● 위치제어 기능이 있어 정지시 시료(웨이퍼, 글라스 등등)를 원하는 위치에 정지 기능이 있어 시료 Handling에도 최적
● 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현.
(50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 가능)