서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

클린룸 증착(Deposition) 장비

진공 박막 증착기-공지 확인 필 E-beam Evaporator

모델명 GLAD E-BEAM EVAPORATOR SYSTEM, KVE-E4006L
제조사(제조국) Korea vacuum tech (Kor)
구입연도(제작연도) 2014-04-15
용도 Metal and oxide deposition
사용료 유저등록비 포함
장소 22-220
비고 crucible, metal 개별 구비

성능

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● Deposition source (metal): Au, Ti, Ni, Pt, Cr, Al
● Deposition source (oxide): SiO2
   - O2가스 사용 불가
   *이 외의 source는 관리자에게 확인 후 사용
● Wafer size: 4“ 이내
● Substrate rotation and tilt 가능
● Process Chamber : Stainless steel
● Vacuum Pumping Station : TMP
● Loadlock Chamber : Top door, Stainless steel
● Substrate Unit : Rotation / Heating / Cooling
● Sample Size : 4inch 이내
● Vacuum Gauge Controller : ATM ~ 1.0E-10Torr
● Power Supply Unit : 6kW, 8kW, 10kW
● Crucible Size : 4cc, 7cc, 15cc, 25cc
● Pocket Number : 6
● Film Thickness Uniformity : < ±5%
● Ultimate Pressure : < 5.0E-7Torr
● System Control : PLC based PC auto

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