서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

물성분석실 1. Device Fabrication

E-beam Evaporator E-beam Evaporator

모델명 KVET-IM2002L
제조사(제조국) 코리아바큠테크(주)
구입연도(제작연도) 2014-04-03
용도 Metal and Oxide Deposition
사용료 유저등록비 및 장비사용료 참고
장소 19-420
비고 소스 제공, Au & Pt 사용료 부과

성능

  • Deposition source (metal) : Ti, Pt, Au, Cr (Available material : Al, In, Ni)
  • Wafer size : 4“ 이내
  • Substrate rotation : 0 ~ 30 RPM
  • Process chamber : SUS304 / front door type
  • loadlock chamber & Automatic sample transfer device
  • Vacuum pumping station : Cryo pump & Dry pump
  • E-beam source : 4 pocket 7cc crucible / 270 degree deflection
  • Thermal source : Not used
  • Ultimate Pressure : < 3.0E-8Torr
  • System Control : PLC based PC auto
E-beam Evaporator 사진

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