서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

클린룸 저온실 시료준비실 바이오룸 물성분석실
물성분석실 5. Optical Parameter Measurement

Ellipsometer (UV, VIS, NIR) Ellipsometer (UV, VIS, NIR)

모델명 M2000DI
제조사(제조국) J.a.woollam
구입연도(제작연도) 2017-10-17
용도 시료의 광학적 특성 측정
사용료 유저등록비 및 장비사용료 참고
장소 19-402

성능

  • Ellipsometer configuration : Dual RCE
  • Wavelength range : 193-1690 nm
  • Number of wavelengths : 690 wavelengths
  • Detector : CCD
  • Angles of incidence : 45°-90° (Automated angle base) : 20°-90° (Vertical automated angle base) : ~65° (Focused base) : 65° (Fixed angle base) : 65° (Test base)
  • Data acquisition rate : 0.05 seconds (2-5 seconds is typical)
  • Max substrate thickness : 18 mm
Ellipsometer (UV, VIS, NIR) 사진

예약안내

로그인 후 장비를 예약할 수 있습니다.