클린룸 측정(measurement) 장비
원자 힘 전자 현미경(AFM)-수리중(일정미정) AFM (Atomic Force Microscope)
| 모델명 | NX10 |
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| 제조사(제조국) | Park systems (KOR) |
| 구입연도(제작연도) | 2014-12-26 |
| 용도 | 시료의 표면을 매우 가는 금속 Tip(cantilever)의 끝을 이용하여 원자 간의 힘을 광학적 방법으로 측정 Tip과 시료표면의 원자사이에 작용하는 반데르발스힘을 검출하여 시료의 표면스캔 Cantilever의 Tip 끝에 레이저를 반사시켜 반사되는 레이저의 위치를 이용하여 이미지생성 |
| 사용료 | 10,000원/h |
| 장소 | 22-220 |
| 비고 | cantilever 개별 구비 |
성능▶ XY Scanner
Single module flexure XY-scanner with closed-loop control 50 µm × 50 µm (optional 10 µm × 10 µm or 100 µm × 100 µm) Resolution : 0.05 nm Position detector noise : < 0.25 nm (bandwidth: 1 kHz) Out-of-plane motion : < 2 nm (over 40 µm scan) ▶ Motorized Stage Sample size : up to 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness Sample weight : up to 500 g XY stage travel : 20 mm x 20 mm Z travel : 25 mm Focus travel : 15 mm ▶ Z Scanner range Guided high-force flexure scanner Scan range : 15 µm (optional 30 µm) Resolution : 0.015 nm Position detector noise : 0.03 nm (bandwidth: 1 kHz) Resonant frequency : > 9 kHz (typically 10.5 kHz) ● 분해능은 팁 끝의 두께(nm크기)에 따라 달라지고 원자수준까지 볼 수 있음 ● Contact Mode : 원자사이의 척력 검출 ● Non-Contact Mode : 시료와 팁사이의 인력 검출 (반데르발스힘) ● Tapping Mode : 큰 진폭과 간헐적인 팁과 시료와의 접촉을 통해 시료 표면정보를 얻어냄 ● 전처리 없이 (액체시료 제외) 시료분석 가능 |
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