서울대학교 응용물리연구소

보유장비 및 예약

클린룸 리소(Lithography, milling) 장비

집속 이온 빔(FIB) Focused Ion Beam(FIB)

모델명 Helios 5 UC
제조사(제조국) Thermo Fisher Scientific
구입연도(제작연도) 2023-12
용도 (Cross Section) Milling, TEM Lamella 제작 등
사용료
장소 22-220

성능


* 자성 물질 절대 사용 금지!!


** 파우더 샘플 사용 전 관리자 확인 필! 
 


-Electron optics

(1) Electron Beam Resolution

- 0.6nm at 30 kV- SE resolution

- 0.7nm at 1 kV SE resolution

(2) Accelerating voltage : 350 V to 30 kV

(3) Magnification : 8x to 1,280Kx

(4) High stability Schottky thermal field emitter and available unicolor optics.

(5) Heated objective apertures to extend aperture lifetime

- Ion beam resolution(FIB mode)

(1) 2.5 nm at 30 kV

- Field emission gun

(1) Probe current: 0.8pA to 100nA

- High Throughput ion column optics

(1) High-current ion column with Ga liquid-metal ion source for use in high vacuum

(2) Acceleration voltage: 0.5 to 30 kV

(3) Probe current: 0.1 pA to 100 nA

집속 이온 빔(FIB) 사진

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