INSTITUTE OF APPLIED PHYSICS

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Clean room Deposition machine

Thermal Evaporator

Model 15NNS004
Manufacturer (Country) NNS Vacuum
Purchase Date
Purpose of Use Metal Deposition

Product Description and Specifications


  • Depositon Source: Ni, Ti, Cr, Au (이외 사용 불가)
  • Wafer Size: 4" 이내
  • Rotation 사용 가능
  • Pocket Number: 4
  • 진공 박막 증착기(E-beam Evaporator)와 동일 사이즈 Pellet source 사용
열 증착 시스템